MEMS VOC氣體傳感器根據MEMS工藝制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料,對VOC氣體的靈敏度高。當氣體傳感器所處存在VOC氣體環境中時,傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發生改變。VOC氣體的濃度越高,MEMS氣體傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
乙醇(C2H5OH): 0– 500ppm
氫氣(H2):0-5000ppm
VOC:0-100ppm
可燃氣體:0-10000ppm
氨氣:0-300ppm
一氧化碳:0-500ppm
低功耗
高靈敏度
結構堅固
MEMS工藝
簡單的驅動電路
快速的響應恢復特性
適用于室內空氣質量監測 、手機電腦等消費類子產品應用檢測空氣質量,也適用于氣體檢測儀、室內煙霧報警等。
1.預熱時間
氣體傳感器需要時間達到內部的化學平衡所以需要一定的預熱時間。一般來說,傳感器在比較高的溫度下會更快的達到平衡,所以可以在最初開機的幾十秒,可以給傳感器更高的電壓來預熱。如C2H50H傳感器一般工作在50mW,可以在最初30秒內利用80mW來加熱。總的來講,預熱時間越長則傳感器精度越好。
2.傳感器標定
對于絕對濃度測量,很多因素會影響到傳感器的精度如傳感器之間的基準電阻差異,靈敏度差異,溫度,濕度,干擾氣體,老化時間等,因此需要定期標定。對于相對測量則不需要標定。因為傳感器的特性曲線是非線性的,所以推薦在全量程內進行多點標定并考慮溫度和濕度的影響。當標定數據得到后,可以利用多項式或線性擬合來對數據進行整理。
3. 傳感器的長期穩定性
隨著工作時間增加,加熱電路電阻會增加,可以通過一定的電路來解決。試驗數據表明在 40mW 供電條件下,6000 小時后電阻沒有變化;80mW 供電條件下,加熱電阻增加了 30%。在加熱電路上串聯一個電阻,該電阻值對功率的影響在 2%以下,通過該方法可以解決問題。當然也可以使用等功率電路來剔除影響。
文章來源于網絡,若有侵權,請聯系我們刪除。