MEMSVOC氣體傳感器根據(jù)MEMS工藝制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料,對VOC氣體的靈敏度高。MEMSVOC氣體傳感器是主要用于在空氣環(huán)境中檢測VOC濃度范圍在0-100ppm的氣體傳感器。該VOC傳感器使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與VOC氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)時間短等特點。
1、微型化設(shè)計
產(chǎn)品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)時間短,表面體積比高可以提高表面
傳感器的敏感程度。
2、高度集成
可把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體,形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列。
3、高/低溫工作適應(yīng)性好
產(chǎn)品功耗低,工作時基本沒有熱輻射,不影響周邊溫度濕度檢測。
檢測氣體:VOC
VOC測量范圍:0-100ppm
回路電壓Vc:≤24V DC
加熱電壓VH:2.8V士0.1V AVorDC
負載電阻RL:可調(diào)
加熱電阻RH:80?土20?(室溫)
加熱功耗PH:≤80mW
敏感體電阻Rs:1K?~30K?
靈敏度S:RO/RS≥2
濃度斜率a:≤0.9
溫度:20°C士2°C
濕度:55%RH土5%RH
標準測試電路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V士0.1V