MEMS氨氣氣體傳感器

產(chǎn)品介紹：

MEMS氨氣氣體傳感器是用來監(jiān)測(cè)空氣環(huán)境中氨氣氣體濃度在0-300ppm的MEMS氣體傳感器。MEMS氨氣氣體傳感器采用了在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料。該氨氣傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板。具有尺寸小、功耗低、響應(yīng)速度快、適應(yīng)性好、使用壽命長(zhǎng)久等特點(diǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、微型化設(shè)計(jì)

產(chǎn)品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)時(shí)間短，表面體積比高可以提高表面
傳感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列。

3、高/低溫工作適應(yīng)性好

產(chǎn)品功耗低，工作時(shí)基本沒有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測(cè)。

產(chǎn)品參數(shù)：

回路電壓Vc：≤24V DC

加熱電壓VH：2.8V士0.1V AVorDC

負(fù)載電阻RL：可調(diào)

加熱電阻RH：80?土20?(室溫)

加熱功耗PH：≤80mW

敏感體電阻Rs：1K?~30K?

靈敏度S：RO/RS≥2

濃度斜率a：≤0.9

溫度：20°C士2°C

濕度：55%RH土5%RH

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V士0.1V