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MEMS一氧化碳氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環境空氣中有被檢測氣體存在時傳感器電導率發生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
MEMS CO傳感器采用MEMS工藝，結構堅固，對一氧化碳靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅動電路簡單、穩定性好、壽命長等優點。
MEMS CO傳感器可應用于家庭用一氧化碳氣體泄漏報警器、工業用一氧化碳氣體報警器以及便攜式一氧化碳氣體檢測器等。
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