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MEMS CH4可燃氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當環境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導率發生變化。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
MEMS CH4可燃氣體傳感器采用MEMS工藝，結構堅固，對可燃氣體靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅動電路簡單、穩定性好、壽命長等特點。
MEMS CH4可燃氣體傳感器適用于手機、電腦等消費類電子產品應用檢測燃氣泄漏；也適用于用于家庭、商業用所的可燃氣體泄漏監測裝置、氣體檢漏儀、防火/安全探測系統。
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