MEMS氟利昂氣體傳感器是精訊暢通利用MEMS工藝而打造的氟利昂傳感器。MEMS氟利昂氣體傳感器具有MEMS工藝的微熱板,采用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)檢測環(huán)境中有氟利昂氣體存在時,MEMS氟利昂傳感器的電導(dǎo)率也會發(fā)生變化。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與氟利昂濃度相對應(yīng)的輸出信號。
檢測氣體:氟利昂
氟利昂測量范圍:10-1000ppm
氟利昂測量靈敏度S:RO/RS≥2
回路電壓Vc:≤24V DC
加熱電壓VH:2.8V士0.1V AVorDC
負(fù)載電阻RL:可調(diào)
加熱電阻RH:80?土20?(室溫)
加熱功耗PH:≤80mW
敏感體電阻Rs:1K?~30K?
濃度斜率a:≤0.9
溫度:20°C士2°C
濕度:55%RH土5%RH
標(biāo)準(zhǔn)測試電路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V士0.1V