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MEMS硫化氫氣體傳感器是采用了金屬氧化物半導體材料，主要用于檢測環(huán)境中硫化氫氣體濃度的H2S傳感器。MEMS硫化氫氣體傳感器的SI基襯底.上的微熱板是利用MEMS工藝制作的。該硫化氫傳感器使用簡單的電路即可將電導率的變化轉(zhuǎn)換為與H2S氣體濃度相對應的輸出信號。具有響應速度快、加工緊密、靈敏度高、體積小等優(yōu)點。
檢測氣體：硫化氫
硫化氫測量范圍：0-3ppm
回路電壓Vc：≤24V DC
加熱電壓VH：2.8V士0.1V AVorDC
負載電阻RL：可調(diào)
加熱電阻RH：80?土20?(室溫)
加熱功耗PH：≤80mW
敏感體電阻Rs：1K?~30K?
靈敏度S：RO/RS≥2
濃度斜率a：≤0.9
溫度：20°C士2°C
濕度：55%RH土5%RH
標準測試電路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V士0.1V
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