半導(dǎo)體氣體傳感器是一種能夠檢測氣體濃度的傳感器,其工作原理基于半導(dǎo)體材料的特性。氣體傳感器的優(yōu)點包括高靈敏度、高準(zhǔn)確度、高精度、可靠性高、壽命長、易于維護等。本文將詳細(xì)介紹半導(dǎo)體氣體傳感器的工作原理及優(yōu)點。
一、半導(dǎo)體氣體傳感器的工作原理
半導(dǎo)體氣體傳感器的工作原理基于半導(dǎo)體材料的特性。半導(dǎo)體材料具有導(dǎo)電性、熱穩(wěn)定性和光穩(wěn)定性等特性,當(dāng)氣體分子進(jìn)入半導(dǎo)體材料中時,會與半導(dǎo)體材料中的雜質(zhì)結(jié)合,形成復(fù)合物。復(fù)合物具有導(dǎo)電性,可以導(dǎo)電通道,通過導(dǎo)電通道可以實現(xiàn)氣體分子的檢測。
當(dāng)氣體分子進(jìn)入傳感器的氣相空間時,與半導(dǎo)體材料中的雜質(zhì)結(jié)合,形成復(fù)合物。復(fù)合物會阻礙半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性,使得半導(dǎo)體材料中的電子被束縛,形成空穴。空穴在傳感器中移動時,會與半導(dǎo)體材料中的電子發(fā)生電子空穴對,產(chǎn)生光子。光子的能量與氣體分子的光子能量相等時,氣體分子的振動能量會發(fā)生變化,從而可以檢測氣體的濃度。
半導(dǎo)體氣體傳感器通常由p型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體組成。p型半導(dǎo)體具有高導(dǎo)電性,n型半導(dǎo)體具有低導(dǎo)電性。當(dāng)氣體分子進(jìn)入傳感器的氣相空間時,氣體分子與半導(dǎo)體材料中的雜質(zhì)結(jié)合,形成復(fù)合物。復(fù)合物會在p型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體中產(chǎn)生空穴和電子。
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