MEMS傳感器產業鏈簡單分析

一、MEMS簡介

MEMS是微型電子機械系統的簡稱，利用半導體制造工藝和材料，將傳感器、執行器、機械機構、信號處理和控制電路等集成于一體的微型器件或系統，其內部結構一般在微米甚至納米量級。
MEMS主要包含兩個部分：傳感器和執行器。

與傳統的機械傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、集成化、智能化、低成本等優點，可以滿足物聯網時代對于傳感器的要求。

二、MEMS分類

MEMS傳感器種類很多，也有多種分類方法。按其工作原理，大致可分為MEMS物理、化學和生物傳感器，其中每一種MEMS傳感器又可分為很多種小類，不同的MEMS傳感器可以測量不同的量，實現不同的功能。

三、MEMS產業鏈流程

MEMS是多學科交叉的復雜系統，整個產業鏈涉及設計、制造、封裝測試、軟件及應用方案環節。

四、全球MEMS供應鏈

MEMS整個產業鏈復雜，涉及的廠商眾多；中國的設計、制造、封裝測試廠商都在積極布局MEMS，已形成完整MEMS的產業鏈。

五、MEMS傳感器分類

MEMS傳感器種類繁多，主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風、環境、光傳感器等。其中運動傳感器可分為陀螺儀、加速度計、磁力計。

其中環境傳感器可細分為氣體、溫度和濕度傳感器等。MSME溫度傳感器可用于任何需要檢測溫度的地方。MEMS濕度傳感器在工業控制、氣象、農業、礦山檢測等行業中得到了廣泛的應用。MEMS氣體傳感器主要用于檢測目標氣體的成分、濃度等。

產品介紹：

精訊暢通的MEMS氣體傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環境空氣中有被檢測氣體存在時，MEMS氣體傳感器電導率發生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。

產品特點：

1、微型化設計

產品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時間短，表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體，形成微傳感器陣列、
微執行器陣列。

3、高/低溫工作適應性好

產品功耗低，工作時基本沒有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測。