MEMS二氧化氮?dú)怏w傳感器

產(chǎn)品介紹：

MEMS二氧化氮?dú)怏w傳感器是利用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)來(lái)檢測(cè)二氧化氮?dú)怏w濃度的氣體傳感器。MEMS二氧化氮?dú)怏w傳感器采用在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料，對(duì)二氧化氮?dú)怏w的靈敏度高。該二氧化氮傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術(shù)附加值高等特點(diǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、微型化設(shè)計(jì)

MEMS氣體傳感器的體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)時(shí)間短，表面體積比高可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/p>

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列。

3、高/低溫工作適應(yīng)性好

MEMS氣體傳感器在工作時(shí)基本沒(méi)有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測(cè)。