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MEMS氫氣氣體傳感器采用了微型化設計，用于監測應用環境中氫氣氣體濃度。MEMS氫氣氣體傳感器采用在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料，利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板。該氫氣傳感器使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與氫氣氣體濃度相對應的輸出信號。
1、微型化設計
MEMS氫氣氣體傳感器的產品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時間短，表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。
2、高度集成
可把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執行器陣列。
3、高/低溫工作適應性好
產品功耗低，工作時基本沒有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測。
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