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臭氧半導(dǎo)體氣體傳感器采用了利用固態(tài)金屬氧化物類的氣敏半導(dǎo)體材料而制成的敏感元件。臭氧半導(dǎo)體氣體傳感器主要用于臭氧的氣體濃度檢測。臭氧傳感器對臭氧的靈敏度高，對氯氣、二氧化氮等強氧化性氣體也有一定的靈敏度。具有成本低廉、制造簡單、靈敏度高、響應(yīng)速度快、壽命長、長期的工作穩(wěn)定性、簡單的測試電路等特點。臭氧傳感器廣泛適用于家庭、大氣環(huán)境中臭氧濃度的探測。
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