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臭氧半導體氣體傳感器采用了利用固態金屬氧化物類的氣敏半導體材料而制成的敏感元件。臭氧半導體氣體傳感器主要用于臭氧的氣體濃度檢測。臭氧傳感器對臭氧的靈敏度高，對氯氣、二氧化氮等強氧化性氣體也有一定的靈敏度。具有成本低廉、制造簡單、靈敏度高、響應速度快、壽命長、長期的工作穩定性、簡單的測試電路等特點。臭氧傳感器廣泛適用于家庭、大氣環境中臭氧濃度的探測。
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